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第一部分：等离子体基本原理实验 1

实验一 直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量 1

实验二 气体击穿电压的测定及帕邢定律验证 10

实验三 汤森第一电离系数α及比值α/p的测定 15

实验四 直流辉光放电等离子体参数的测量 19

实验五 射频等离子体的激发特性研究 25

实验六 非磁化微波等离子体电子参数的测量 29

实验七ECR微波等离子体离子参数的测量 33

第二部分：等离子体在材料工程中的应用 39

实验八 微波等离子体化学气相沉积实验——形核研究 39

实验九 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜实验 44

实验十 直流等离子体溅射制备碳膜实验 49

实验十一 微波等离子体烧结氧化铝陶瓷实验 56

实验十二 微波等离子体冶金实验 62

实验十三 常压微波等离子体引发聚合实验 67

实验十四 微波等离子体射流制备纳米硅及其荧光特性研究 72

实验十五 直流辉光等离子体表面改性实验 78

实验十六 等离子体渗氮硬化金属表面实验 85

实验十七 微波等离子体化学气相沉积法低温合成碳纳米管 92

实验十八 纳米TiO2薄膜的微波等离子体改性 99

实验十九 空心微珠表面磁控溅射镀金属铜膜 104

第三部分：等离子体在微电子中的应用 113

实验二十ECR微波等离子体刻蚀加工实验 113

实验二十一 微波等离子体CVD制备多晶硅薄膜太阳能电池实验 117

实验二十二 等离子体发射光谱分析实验 126

实验二十三 电子束蒸发镀膜与薄膜光学特性分析 134

第四部分：等离子体在环境工程中的应用 143

实验二十四 电晕等离子体处理有机废水的退色实验 143

实验二十五 电晕等离子体处理对有机废水化学需氧量（COD）的影响 150

实验二十六 常压微波等离子体射流处理有机工业废气实验 154

实验二十七 常压微波等离子体射流处理含硫废气实验 158

实验二十八 低温射频等离子体杀菌消毒实验 165