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微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列 RF MEMS器件设计、加工和应用

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文件大小:122MB 标注页数:272页 文件页数:296页

MD5:0c3dbdd11447a81e53afde53ea374b00

ISBN:7118085013

出版社:北京:国防工业出版社

作者:朱健编著

出版时间:2012