CMOS MEMS技术与应用

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文件大小：68MB　标注页数：500页　文件页数：515页

MD5：adf3b04efd938e6ad17d96b003557f2a

ISBN：7564107847

出版社：南京：东南大学出版社

作者：（美）O. Brand ，（美）G. K. Fedder著；黄庆安，秦明译

出版时间：2007