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FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY VOLUME 3 FROM MEMS TO BIO-MEMS AND BIO-NEMS THIR

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MD5:37a08a7d32720f1e1deec20ade8f506f

ISBN:9781420055160

出版社:CRC PRESS

作者:MARC J.MADOU

出版时间:2012