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MEMS技术及应用

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MD5：a76173214da9226524803ae3cadfec7c

ISBN：9787040504781

出版社：北京：高等教育出版社

作者：蒋庄德等著

出版时间：2018

MEMS集成设计技术及应用

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MD5：42c413133983ba963cee0000a43826a9

ISBN：9787118095838

出版社：北京：国防工业出版社

作者：苑伟政，谢建兵，焦文龙著

出版时间：2014

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