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第一章 总论 1

第一节 加工和测量 3

第二节 加工技术和测量技术的发展 4

第三节 数字测量 7

第二章 光学主动测量 12

第一节 主动测量 12

第二节 比较测量 13

第三节 激光测量 18

第四节 指示测量(1)--光电式标尺 25

第五节 指标测量(2)--刻度尺 29

第六节 指示测量(3)--光波干涉法 35

第七节 表面粗糙度的测量 37

第三章 流体主动测量 47

第一节 气动测微仪 47

第二节 喷嘴活瓣 51

第三节 射流元件 52

第四章 电学主动测量 54

第一节 电比较测量(结构型) 54

第二节 电比较测量(物性型) 61

第三节 电指示测量 66

第五章 自动测量 71

第一节 自动控制尺寸 71

第二节 刀具位置的自动修正 78

第三节 自动测量和自动分选 82

第四节 自动选配和组装 85

第六章 形状测量 90

第一节 圆度测量 90

第二节 圆柱度测量 95

第三节 凸轮和齿轮的自动测量 101

第四节 三坐标测量机 105

第五节 光学测量法 116

第七章 绕射光栅和标准尺的刻线 123

第一节 全息照相绕射光栅 123

第二节 绕射光栅的机械刻线 129

第三节 标准尺的刻线 137

第八章 半导体、水昌的精密加工和测量 143

第一节 照相化学腐蚀加工 143

第二节 集成电路的加工和测量 146

第三节 薄板水晶振动元件的精密加工和测量 156

第九章 照相化学腐蚀法和激光精密加工 164

第一节 照相化学腐蚀法精密加工 164

第二节 激光精密加工 166

第十章 时间序列信息处理 171

第一节 利用激光进行音频信号记录和重现 171

第二节 加工中时间序列信息的处理 178

参考文献 187