硅材料质量与硅器件工艺pdf电子书版本下载

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目录 1

1．国外半导体硅单晶及其质量 上海有色金属研究所 夏锦禄 1

2．硅晶片的切磨抛工艺 中国科学院上海冶金研究所 王自筠 12

3．硅烷外延 复旦大学 张冠生 23

4．诱生缺陷与硅器件性能 中国科学院上海冶金研究所 杨传铮 田佩兰 34

5．杂质吸收效应 上海半导体器件研究所 王儒全 72

6．硅－二氧化硅界面态 复旦大学 王迅 82

7．硅材料测试方法的几点改进 上海科学技术大学 曹泽淳 92

8．汞探针容－压法硅外延测试 上海元件五厂、复旦大学 包宗明 98

9．汞探针C-V测试在硅外延生产及元件工艺中的作用 上海元件五厂、复旦大学 包宗明 104

10．扩展电阻法的基本原理及其应用 复旦大学 张敬海 111

11．X射线貌相术及其在半导体材料和器件中的应用 中国科学院上海冶金研究所 杨传铮 125