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绪论 1

第一章 真空技术的物理基础 9

1-1 气体分子运动论的基本原理 9

1-2 麦克斯韦速度分配定律 12

1-3 最可几速率，平均速率及均方根速率 17

1-4 碰撞次数 24

1-5 自由程长度 31

1-6 自由程长度的分配规律 34

1-7 与容器器壁碰撞的分子数·余弦定律 38

1-8 迁移方程 43

1-9 气体的热传导 46

1-10 气体中的内摩擦 53

1-11 气体的扩散 58

1-12 滑动现象 66

1-13 温度剧增现象 71

1-14 低压气体的热传导 76

1-15 热流逸现象 78

1-16 热辐射现象 81

1-17 在高压强下气体沿导管的流动 82

1-18 在低压强下气体沿导管的流动 89

1-19 导管的流阻与流导 98

第二章 真空的测量 100

2-1 概述 100

2-2 U形真空计 102

2-3 静态变形真空计 106

2-4 压缩真空计(麦氏真空计) 106

2-5 热真空计 119

2-6 热阴极电离真空计 131

2-7 磁控放电真空计 141

2-8 放射性电离真空计 144

2-9 气体放电真空指示器 147

2-10 其他真空计 148

2-11 封闭电容器中真空度的测定 152

第三章 真空的获得 154

3-1 概述 154

3-2 真空抽气机的参量 156

3-3 测量抽气速率的方法 160

3-4 活塞抽气机 165

3-5 油封旋转抽气机 168

3-6 分子抽气机 192

3-7 双转子容积分子抽气机(罗茨泵) 195

3-8 蒸汽流抽气机 197

3-9 固体的吸气与放气 228

3-10 气体的吸附与吸收 229

3-11 促进固体吸气的因素 237

3-12 真空技术中所应用的材料与主要气体的相互作用 238

3-13 吸气剂 241

3-14 捕集器(阱) 247

3-15 用加热法去气 257

第四章 真空系统的检漏法 262

4-1 概述 262

4-2 检漏法·检漏器 265

第五章 真空系统和真空设备 281

4-3 漏气量的确定·标准漏孔 281

5-1 对真空系统的基本要求 284

5-2 真空系统的主要材料 284

5-3 真空系统的连接方法 290

5-4 真空系统的零件 306

5-5 真空密封物质 312

5-6 真空系统的各种形式 315

5-7 真空系统的安装、调试、运用和维护 328

5-8 真空系统的计算和设计 333

6-1 概述 374

第六章 超高真空技术 374

6-2 超高真空的测量 376

6-3 超高真空的获得 391

6-4 超高真空系统 410

附录 420

1 国外机械旋转真空泵规范简明表 420

2 喷射油汽油气机与辅助抽气机的特性 421

3 国外蒸汽流泵规范简明表(苏联产品) 422

4 蒸汽流泵用的几种油的性质 424