半导体制造工艺控制理论pdf电子书版本下载

点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
下载压缩包 [复制下载地址] 温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页

半导体制造工艺控制理论PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如 BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！

（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 绪论 1

1.1 半导体制造工艺可靠性 1

1.2 传统可靠性方法存在的问题 2

1.3 实现高可靠性的新思路 3

1.4 半导体制造工艺控制流程 5

参考文献 6

第2章 单变量工序能力指数 7

2.1 工序能力指数 7

2.2 工序能力指数与成品率关系 9

2.3 非正态工序能力指数 13

2.4 截尾样本的成品率分析 20

参考文献 29

第3章 多变量工序能力指数 31

3.1 空间定义多变量工序能力指数 31

3.2 成品率多变量工序能力指数 34

3.3 权重系数多变量工序能力指数 45

参考文献 46

第4章 过程控制技术 48

4.1 SPC技术概述 48

4.2 SPC基本概念 48

4.3 控制图理论 50

4.4 常规控制图技术 53

4.5 过程受控判断规则 64

4.6 多变量控制图模块 66

参考文献 78

第5章 特殊过程控制技术 79

5.1 多品种小批量生产环境的质量控制 79

5.2 T-K控制图性能分析 97

参考文献 110

第6章 实验设计和工艺表征 113

6.1 概述 113

6.2 统计表征与优化的技术框架 115

6.3 热氧化工艺设备统计表征与优化 124

6.4 等离子体刻蚀工艺设备的统计表征与优化 150

参考文献 169