图书介绍
材料科学与技术丛书 第16卷 半导体工艺pdf电子书版本下载
- （美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：703007260X
- 出版时间：1999
- 标注页数：627页
- 文件大小：69MB
- 文件页数：639页
- 主题词：半导体工艺
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图书目录
1 硅工艺 1
2 化合物半导体工艺 55
3 外延生长 90
4 光刻 145
5 选择性掺杂 214
6 半导体工艺中的刻蚀工艺 237
7 硅器件结构 280
8 化合物半导体器件结构 329
9 硅器件工艺 343
10 化合物半导体器件工艺 410
11 集成电路封装 504
12 互连系统 541
索引 570