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第1章 低温真空技术概论 1

低温真空技术的名词术语 1

低温技术与真空技术的关系 2

低温泵简介 3

低温泵的类型 3

低温泵的性能 4

真空区域的划分 4

压强单位与真空区域的划分 4

各真空区域的特性及其应用 5

第2章 低温技术基础 7

低温技术的热力学基础 7

获得低温的基本方法 8

气体节流与等熵膨胀 9

压缩气体的节流 9

气体等熵膨胀 13

低温绝热技术 14

普通堆积绝热 15

高真空绝热 16

真空多孔绝热 16

多层绝热 17

多屏绝热 19

低温储运设备 20

小型容器 20

固定式储槽 21

运输式储槽 22

液氢和液氦容器 22

非金属低温容器 24

低温液体输送管道 25

低温液体泵 27

低温阀门 28

低温测量 30

温度测量 30

流量测量 32

液位测量 33

压力（真空）测量 35

第3章 真空技术基础 36

真空的获得 36

真空泵的分类 36

真空泵的性能 38

真空泵的技术术语、功能及使用范围 38

真空的检漏 42

真空检漏技术基础 42

几种常用的检漏方法 43

真空检漏中的注意事项 45

真空测量 45

真空计种类 45

真空计原理 46

真空系统 47

第4章 真空状态下的气体流动 52

流动的基本概念 52

气体中的迁移现象 53

流导及其计算 56

通过管孔的粘滞流流导 56

通过管孔的分子流流导 58

圆截面流导计算图表法 62

真空阀门的流导 62

用蒙特卡罗法求分子流导 63

第5章 气－固界面现象 67

气体的冷凝 67

气体凝结系数 67

气体冷凝机理 69

冷凝物的结构及其他物理性能 71

低温吸附 73

固体对气体的吸附作用 73

气体冷凝物上的低温吸附 75

多孔固体上的低温吸附 79

低温吸附泵 82

混合气体的冷凝和低温捕集 83

混合冷凝物的平衡特性 84

混合冷凝机理 85

捕集过程的抽速 87

捕集过程的其他特征 88

金属薄膜低温吸气和低温钛泵 89

金属薄膜低温吸气机理 89

低温钛泵的工艺 90

第6章 低温制冷机 93

斯特林制冷机 93

斯特林制冷循环 93

双作用及多级斯特林制冷机 98

分置式斯特林制冷机 100

维勒米尔制冷机 104

基本原理 104

多级VM制冷机 110

分置式VM制冷机 112

吉福特－麦克马洪制冷机 113

基本原理 113

G-M制冷机的总体结构及技术特性 115

索尔文制冷机 117

基本原理 117

索尔文制冷机的总体结构及技术特性 120

脉管制冷机 121

基本原理 121

基本型脉管制冷机 122

改进型脉管制冷机 124

布雷顿循环制冷机 128

第7章 低温泵的结构 131

储液式低温泵 131

简单储液式低温泵 131

典型储液式低温泵 132

带吸附级的储液式低温泵 134

连续流动式低温泵 135

制冷机低温泵 138

制冷机的部件 144

不同类型的低温泵制冷机的制冷量 144

活塞膨胀机 145

透平式膨胀机 146

压缩机 146

低温箱 147

第8章 低温泵的设计 148

低温泵的抽速 148

被抽气体的饱和蒸气压 148

低温冷面的理想抽速 148

低温泵的实际抽速 150

屏蔽障板对低温泵抽速的影响 152

深冷霜的吸气作用 153

凝结层对低温泵抽速的影响 156

低温冷凝泵典型的抽速特性曲线 156

低温泵抽速的测试 157

低温泵的极限压强和初始压力 157

初始压力和初始残余气体量 157

极限压强 157

低温泵压力的测量 158

降低极限压力的方法 159

低温泵的热负荷 160

气体冷凝的热负荷 160

周围壁板的辐射热负荷 160

热传导 162

制冷机低温泵的设计 162

制冷机低温泵的总体布置及设计原则 162

辐射屏和辐射挡板的设计 164

低温板及吸附面的设计 168

工作寿命与抽气的容量 172

排气量 172

制冷时间 173

制冷功率及温度 173

低温泵的工作时间 174

低温面的冷却与再生 175

低温面的冷却 175

低温面的再生 177

第9章 低温真空技术的应用 179

宇航研究 179

空间环境试验设备中的低温技术 179

空间环境试验设备中的真空技术 181

低温液体推进剂 183

等离子体与热核聚变 187

等离子体 187

等离子体发生技术 187

等离子体的应用 188

受控核聚变 190

托卡马克中的超高真空技术 191

红外望远镜 193

超流氦与空间制冷技术 193

红外空间观测卫星的低温系统 196

空间红外望远镜的低温系统 198

界面分析 199

低温能源 200

低温能源技术 200

液化天然气技术 200

低温冷冻干燥 202

冷冻干燥技术 202

冷冻干燥装置 203

冷冻干燥的应用 205

真空预冷 207

真空冷却的优缺点 207

真空预冷装置 208

真空预冷技术的应用 211

薄膜与微电子 212

薄膜制造方法 212

真空微电子技术 216

真空微电子技术的应用 219

附录 221

附录A附表 221

常用气体的基本参数 221

常用材料的热导率 228

常用材料的辐射率和吸收率 230

常用材料的比热容 232

常用材料的膨胀系数 235

常用材料的放气率 236

附录B附图 243

材料的放气率 243

气体的温熵图 249

参考文献 250