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第一章 精密仪器概论 1

第一节 概述 1

第二节 精密仪器的重要性和展望 4

第三节 精密仪器的设计要求和过程 6

作业与思考题 8

第二章 仪器的精度理论 9

第一节 精度理论的基本概念 9

第二节 误差的处理和评定 11

第三节 仪器的精度分析 17

第四节 仪器的精度设计 29

作业与思考题 41

第三章 精密仪器总体设计 42

第一节 总体设计的相关基础 42

第二节 总体设计内容 56

第三节 总体设计举例 60

作业与思考题 63

第四章 机械系统设计 65

第一节 机构设计基础 65

第二节 机械传动机构设计 68

第三节 导向机构设计 82

第四节 微位移机构设计 85

作业与思考题 89

第五章 光学系统设计 90

第一节 概述 90

第二节 光学基本理论 91

第三节 典型光学元件及成像理论 107

第四节 典型光学系统 121

作业与思考题 146

第六章 伺服系统设计 147

第一节 概述 147

第二节 开环伺服控制系统设计 152

第三节 闭环伺服控制系统设计 169

作业与思考题 187

第七章 电路系统设计 188

第一节 电路系统组成与设计要求 188

第二节 电路系统硬件设计 195

第三节 电路系统软件设计 201

第四节 电路系统抗干扰及可靠性设计 203

作业与思考题 212

第八章 精密仪器设计实例 213

第一节 激光干涉测长仪设计 213

第二节 便携式近红外光谱仪器设计 226

作业与思考题 242

实验部分 243

实验一 测量显微镜结构分析设计 243

实验二 精密工作台控制系统设计 244

实验三 精密工作台控制计算机系统设计 245

实验四 单色仪光栅扫描计算机控制系统设计 246

参考文献 247