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绪论 1

0.1 改良西门子法生产多晶硅 1

0.2 其他多晶硅生产方法 4

项目一 气体的制备与净化 6

任务一 气体的制备 6

任务二 气体净化 18

小结 27

习题和思考题 27

项目二 三氯氢硅的合成 28

任务一 液氯汽化 28

任务二 氯化氢的合成 36

任务三 三氯氢硅的合成 43

小结 61

习题和思考题 62

项目三 三氯氢硅精馏提纯 64

任务一 精馏提纯原理及相关计算 64

任务二 精馏提纯设备 89

任务三 精馏提纯工艺 96

任务四 精馏提纯操作 98

任务五 设备、管道的检修 113

任务六 故障处理 115

任务七 三氯氢硅中杂质含量的分析 120

小结 121

习题和思考题 122

项目四 三氯氢硅氢还原制备高纯硅 123

任务一 三氯氢硅氢还原工作原理 123

任务二 三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作 128

任务三 设备、管道保养与维护 143

任务四 还原工序常见故障判断与处理 148

任务五 三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制 151

任务六 还原生产中热能的综合利用 155

任务七 高纯材料及半导体相关知识 156

小结 160

习题和思考题 160

项目五 尾气干法回收 162

任务一 还原尾气干法回收的基本原理 163

任务二 还原尾气干法回收工艺流程 167

任务三 尾气干法回收主要设备 168

任务四 设备准备及安全检查 176

任务五 尾气干法回收原辅材料准备 179

任务六 尾气干法回收关键及核心设备操作 180

任务七 尾气回收故障处理 184

任务八 设备、管道保养与维护 185

小结 192

习题和思考题 192

项目六 四氯化硅的综合利用与处理 193

任务一 四氯化硅的性质 193

任务二 四氯化硅氢化回收 195

任务三 四氯化硅处理的其他技术 198

小结 201

习题和思考题 201

项目七 硅芯的制备与腐蚀 202

任务一 硅芯的制备 203

任务二 硅芯腐蚀 208

小结 209

习题和思考题 210

项目八 纯水的制备 211

任务一 纯水制备原理 211

任务二 纯水制备工艺流程 214

任务三 纯水制备系统主要设备及工作原理 215

任务四 纯水制备系统操作 222

任务五 纯水的测量 228

任务六 其他纯水制备法及流程 230

小结 233

注释 233

习题和思考题 234

项目九 硅烷法制备高纯硅 235

任务一 硅烷的性质 235

任务二 原料的制取及处理 236

任务三 硅烷的发生 241

任务四 硅烷的提纯 246

任务五 硅烷热分解制备多晶硅 248

小结 251

习题和思考题 251

参考文献 252