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1 现代精密仪器设计概论 1

1.1概述 1

1.2现代精密仪器的基本组成 7

1.3现代精密仪器设计的指导思想、原则与程序 11

思考题 14

2精密仪器总体设计 15

2.1设计方法概述 15

2.2设计任务分析 23

2.3主要参数与技术指标 24

2.4总体方案的制定 34

思考题 58

3精密仪器设计的精度理论 60

3.1仪器精度理论中的若干基本概念 60

3.2仪器误差的来源与分析 76

3.3仪器误差的计算分析方法 82

3.4仪器误差的综合 89

3.5仪器精度设计与误差分配 95

3.6仪器的动态精度 98

思考题与习题 105

4精密机械系统 111

4.1基座与支承件 111

4.2精密x-y工作台 115

4.3主轴系统 125

思考题与习题 138

5微位移技术 139

5.1概述 139

5.2压电、电致伸缩器件 151

5.3电磁控制的微动工作台 158

5.4柔性铰链 163

5.5精密微动工作台的设计及其特性分析 172

5.6其他类型的微位移机构 184

思考题与习题 189

6光学系统设计 192

6.1概述 192

6.2光辐射源及特征 193

6.3信噪比的计算方法 201

6.4光学系统基本参数的确定 205

6.5光电系统中参数的确定 235

6.6总体设计举例 241

思考题与习题 247

7定位与测量系统 249

7.1概述 249

7.2光栅定位测量系统 251

7.3激光干涉定位测量系统 290

7.4其他编码器 324

思考题与习题 338

8瞄准与对准系统 341

8.1接触式瞄准方法 342

8.2非接触式瞄准方法 353

8.3光电自动对准系统 367

思考题与习题 388

9自动调焦系统 392

9.1概述 392

9.2图像处理自动调焦方法 395

9.3图像清晰度判据函数的选取 399

9.4气动调焦方法 404

9.5其他自动调焦方法 411

9.6自动调焦系统设计实践 424

思考题与习题 431

10精密机械伺服系统设计 434

10.1概述 434

10.2精密机电传动系统的静态参数设计与动态分析 442

10.3开环与闭环伺服系统的设计原理 453

10.4应用实例——高精度低速伺服转台设计 484

思考题与习题 492

11微型机电系统 495

11.1概述 495

11.2微机械的机械物性基础 500

11.3微驱动器 517

11.4微型传感器 526

11.5微型机电系统 534

11.6微型机械设计实践 539

思考题 547

参考文献 548