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前言 1

第一章 精密和超精密加工技术及其发展展望 1

第一节 发展精密和超精密加工技术的重要性 1

第二节 超精密加工技术的现状 4

第三节 超精密加工技术发展展望 7

复习思考题 8

第二章 超精密切削与金刚石刀具 9

第一节 超精密切削的切削速度选择 9

第二节 超精密切削时刀具的磨损和耐用度 10

第三节 超精密切削时积屑瘤的生成规律 12

第四节 切削参数变化对加工表面质量的影响 15

第五节 刀刃锋锐度对切削变形和加工表面质量的影响 18

第六节 超精密切削时的最小切削厚度 21

第七节 金刚石刀具晶面选择对切削变形和加工表面质量的影响 23

第八节 超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构 25

第九节 金刚石晶体各晶面的耐磨性和好磨难磨方向 30

第十节 单晶金刚石刀具的磨损破损机理 32

第十一节 金刚石晶体的定向 33

第十二节 金刚石刀具的设计与制造 37

复习思考题 42

第三章 精密磨削和超精密磨削 43

第一节 精密和超精密磨削概述 43

第二节 精密磨削 47

第三节 超硬磨料砂轮磨削 51

第四节 超精密磨削 57

第五节 精密和超精密砂带磨削 60

复习思考题 69

第一节 精密和超精密机床发展概况 70

第四章 精密和超精密加工的机床设备 70

第二节 典型超精密机床的简介 72

第三节 精密主轴部件 78

第四节 床身和精密导轨部件 82

第五节 进给驱动系统 90

第六节 微量进给装置 93

第七节 机床运动部件位移的激光在线检测系统 98

第八节 机床的稳定性和减振隔振 100

第九节 减少热变形和恒温控制 103

复习思考题 106

第一节 精密测量技术概述 107

第五章 精密加工中的测量技术 107

第二节 长度基准 108

第三节 测量平台 109

第四节 直线度、平面度和垂直度的测量 111

第五节 角度和圆分度的测量 114

第六节 圆度和回转精度的测量 117

第七节 激光测量 122

复习思考题 126

第一节 概述 128

第六章 在线检测与误差补偿技术 128

第二节 在线检测与误差补偿方法 134

第三节 微位移技术 141

复习思考题 147

第七章 精密研磨和抛光 148

第一节 研磨抛光机理 148

第二节 精密研磨、抛光的主要工艺因素 150

第三节 超精密平面研磨和抛光 151

第四节 采用新工作原理的超精密研磨抛光 157

复习思考题 162

第一节 微细加工技术的出现 163

第八章 微细加工技术 163

第二节 微细加工的概念及其特点 165

第三节 微细加工机理 167

第四节 微细加工方法 169

复习思考题 188

第九章 精密和超精密加工的支撑环境 189

第一节 空气环境和热环境 189

第二节 振动环境 196

第三节 噪声环境 200

第四节 其它环境 203

第五节 精密和超精密加工的环境设施 205

复习思考题 206

第十章 纳米技术 207

第一节 纳米技术概述 207

第二节 纳米级测量技术 207

第三节 纳米级表层物理力学性能的检测 215

第四节 纳米级加工技术 219

第五节 纳米级器件、微型机械和微型机电系统 223

复习思考题 226

参考文献 227