气体纯化pdf电子书版本下载

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第一章 概述 1

第一节 电子工业对气体纯度的要求 1

第二节 常用气体的来源和纯度 4

第三节 气体的物理化学性质 11

第二章 常用气体的纯化方法 17

第一节 化学反应法 17

第二节 选择吸附法 25

第三节 低温精馏法 36

第四节 薄膜扩散法 40

第三章 氢气纯化的方法 49

第一节 催化除氧吸附干燥纯化氢气 49

第二节 钯合金扩散纯化氢气 54

第三节 变压吸附纯化氢气 57

第四节 低温吸附纯化氢气 61

第四章 氮气的纯化 63

第一节 化学除氧和吸附干燥纯化氮气 63

第二节 低温精馏提取高纯氮气 71

第五章 氧气的纯化方法 75

第一节 化学除烃(或除氢)纯化氧气 75

第二节 低温精馏纯化氧气 78

第六章 氩气的纯化方法 81

第一节 用吸气剂纯化氩气 81

第二节 低温精馏(或低温吸附)纯化氩气 86

第七章 气体纯化干燥装置的设计 89

第一节 催化反应器的设计 89

第二节 冷凝干燥器的设计 97

第三节 吸附干燥器的设计 105

第八章 气体纯化装置的辅助设备 117

第一节 水冷却器 117

第二节 电阻加热器 121

第三节 管道、接头和阀 126

第九章 钯合金扩散氢气纯化装置 137

第一节 钯合金扩散室 137

第二节 钯合金扩散氢气纯化装置的工艺流程 147

第十章 无热再生气体干燥装置 151

第一节 无热再生变压吸附的基本原理 151

第二节 无热再生气体干燥工艺 155

第三节 无热再生气体干燥装置的工艺计算 161

第四节 无热再生气体干燥装置的部件 162

第十一章 气体过滤器 166

第一节 一般气体过滤器 167

第二节 气体高效过滤器 171

第三节 测定气体含尘量的方法 178

第十二章 高纯气体的输送 182

第一节 气体的供应方式 182

第二节 高纯气体的输送 188

第十三章 高纯气体的分析 191

第一节 高纯气体中微量水分含量的测定 192

第二节 高纯气体中微量氧含量的测定 199

第三节 气相色谱法测定气体的微量杂质含量 204

第四节 其它微量杂质气体含量的测定方法 210