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第1章 精密、超精密制造技术概论 1

1.1 精密、超精密制造技术概念 1

1.2 精密、超精密制造技术对航空制造业的重要作用 2

1.3 精密、超精密制造技术分类 4

1.3.1 航空精密、超精密制造技术体系 4

1.3.2 航空精密、超精密加工技术分类 4

1.4 航空精密、超精密制造技术的特点 6

1.5 精密、超精密制造技术的发展现状 7

1.6 精密、超精密制造技术在航空制造业中的应用 8

1.7 航空精密、超精密制造技术的发展趋势 10

第2章 航空精密加工技术 12

2.1 概述 12

2.2 航空精密加工技术的特点 12

2.3 航空精密加工技术的方法 14

2.3.1 分类 14

2.3.2 精密加工基础技术方法 15

2.4 航空精密加工技术典型应用 28

2.4.1 精密偶件类零件制造技术 28

2.4.2 精密薄壁结构零件的制造技术 30

2.4.3 壳体类零件制造技术 32

2.4.4 难加工材料精密制造技术 33

第3章 航空超精密加工技术 36

3.1 概述 36

3.1.1 发展超精密加工技术的重要性 36

3.1.2 超精密加工技术的发展现状 38

3.1.3 超精密加工技术的发展 39

3.1.4 超精密加工技术的分类 40

3.2 超精密加工工艺方法 42

3.2.1 超精密切削加工技术 42

3.2.2 超精密磨削和研磨加工技术 51

3.2.3 超精密复合加工技术 61

3.3 航空超精密加工技术的典型应用 65

3.4 超精密加工的支撑环境 74

3.4.1 空气环境和热环境 75

3.4.2 洁净室 77

3.4.3 分层次的局部环境 80

3.4.4 振动环境 81

3.4.5 隔振器的隔振原理 83

3.4.6 噪声环境 85

3.4.7 其他环境 87

3.4.8 超精密加工的环境设施 88

第4章 航空微系统制造技术 90

4.1 概述 90

4.1.1 惯导器件微小零件 90

4.1.2 微光学元件及微小结构 91

4.1.3 伺服阀微小结构 91

4.1.4 微组装 92

4.1.5 微小动力装置 92

4.1.6 微光电子器件 92

4.1.7 航空微系统 92

4.2 微系统制造技术的特点 93

4.2.1 超微细加工是制造技术的极限 93

4.2.2 精密机械、仪器、仪表的需求催生了微细加工技术 93

4.2.3 电子设备微型化和集成化的需求促进了微细加工技术的发展 93

4.2.4 大规模集成电路的制造是微细加工技术的主要应用领域 94

4.2.5 微细加工的特点 94

4.2.6 微细加工与其他技术的关系 95

4.3 微系统制造技术的方法 96

4.3.1 微细加工的基础技术 96

4.3.2 微细切削加工技术 98

4.3.3 微细特种加工技术 100

4.4 航空微系统制造技术 107

4.4.1 微电子器件制造技术 107

4.4.2 微机电系统制造技术 107

4.4.3 微光电子器件制造技术 108

4.4.4 微细切削加工技术 108

4.5 航空微系统制造关键技术 108

4.5.1 微电子器件关键制造技术 108

4.5.2 微机电系统关键制造技术 109

4.5.3 微光电子器件关键制造技术 109

4.5.4 微三维零件微细加工技术 110

4.6 航空纳米技术发展与应用 110

4.6.1 纳米技术的特点 110

4.6.2 发展纳米技术的重要性 110

4.6.3 纳米技术的主要内容 111

4.6.4 纳米级测量技术 111

4.6.5 纳米级表层物理力学性能的检测 114

4.6.6 显微力学探针检测系统的应用 114

4.6.7 纳米级加工技术 115

4.6.8 纳米级器件、微型机械和微型机电系统 119

第5章 精密坐标测量技术 122

5.1 概述 122

5.2 精密坐标测量技术的特点 124

5.2.1 坐标测量原理 124

5.2.2 三坐标测量机的组成 126

5.2.3 坐标测量机的类型 131

5.3 精密测量技术的方法 134

5.3.1 产品检验与坐标测量机 134

5.3.2 坐标测量机检验的方案 135

5.3.3 三坐标测量机在集成制造系统中的应用 137

5.4 三坐标测量机的发展趋势 139

5.4.1 提高测量精度 139

5.4.2 提高测量效率 140

5.4.3 发展探测技术，完善测量机配置 140

5.4.4 采用新材料，运用新技术 141

5.4.5 发展软件技术，发展智能测量机 142

5.4.6 控制系统更开放 144

5.4.7 进入制造系统，成为制造系统组成部分 145

5.4.8 发展非正交坐标系测量系统 145

5.4.9 加强环境问题的研究 146

5.4.10 加强量值传递、误差检定与补偿的研究 147

第6章 精密、超精密加工设备 149

6.1 概述 149

6.2 精密、超精密加工设备设计的基本原则 149

6.3 精密、超精密加工设备关键模块 150

6.3.1 主轴回转系统 150

6.3.2 直线导轨 152

6.3.3 机床传动系统 153

6.3.4 位置测量及反馈系统 154

6.3.5 控制系统 155

6.3.6 在机在位测量系统 156

6.3.7 床身 156

6.3.8 环境控制 157

6.4 典型超精密加工设备 157

6.4.1 超精密镗削加工设备 157

6.4.2 超精密车削加工设备 158

6.4.3 金刚石刀具研磨设备 159

6.4.4 非球面曲面多轴超精密加工设备 159

6.4.5 圆弧刃金刚石刀具研磨设备 160

6.4.6 超精密磨削加工设备 162

6.4.7 超精密研磨抛光设备 163

6.5 典型航空专用精密非标加工设备 163

6.5.1 立式多功能数控磨床 163

6.5.2 抛物线曲面精密修模设备 164

6.5.3 100t热压机 165

6.5.4 滚动接触疲劳实验机 165

6.6 精密、超精密元部件 167

6.6.1 导电滑环 167

6.6.2 容栅位移传感器 171

6.6.3 圆感应同步器 173

6.6.4 平面气浮轴承 176

6.6.5 液体静压导轨与轴承 178

6.6.6 液压伺服阀 180

第7章 惯导测试与运动仿真技术及设备 182

7.1 概述 182

7.2 惯性导航测试基础技术 184

7.2.1 惯性导航的概念 184

7.2.2 惯性导航测试方法 186

7.2.3 陀螺仪试验 189

7.2.4 加速度计试验 195

7.2.5 惯性导航系统的测试 195

7.3 惯导测试和运动仿真设备 197

7.3.1 基本概念 197

7.3.2 国内外技术发展 198

7.3.3 转台主要技术特点 200

7.3.4 转台的应用与发展 201

7.3.5 转台的技术发展趋势 203

参考文献 204