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第一章 真空技术人门 1

1.1 真空技术的发展历史 1

1.2 真空技术与电子技术 2

1.3 真空度的单位 3

1.4 真空区域的划分 4

1.5 真空技术研究的内容 5

1.6 大气层与真空 5

1.7 真空技术的应用 6

思考与练习 9

第二章 真空技术的物理基础 10

2.1 气体分子运动论的基本知识 10

2.2 气体的压强 13

2.3 气体的道尔顿定律 14

2.4 麦克斯韦速率分布律 14

2.5 平均自由程 16

2.6 分子与表面的碰撞频度和从表面的反射 18

2.7 气体的电离 19

2.8 气体的非平衡过程输运现象 20

2.9 真空状态下的气体流动 21

2.10 流导的概念 22

2.11 流导的计算 23

2.12 物理吸附与化学吸附 25

2.13 气体在固体中的溶解、扩散与渗透 27

2.14 小结 29

思考与练习 33

第三章 真空获得真空泵 35

3.1 真空泵的分类 35

3.2 真空泵的主要参数 35

3.3 真空系统的抽气过程 36

3.4 旋片机械真空泵（机械泵） 38

3.5 油扩散泵 43

3.6 涡轮分子泵 47

3.7 分子筛吸附泵 49

3.8 钛升华泵 52

3.9 溅射离子泵 55

3.10 低温泵 58

3.11 吸气剂泵 60

3.12 小结 61

思考与练习 62

第四章 真空度的测量真空计 63

4.1 U型真空计 63

4.2 压缩真空计（麦克劳真空计） 65

4.3 热传导真空计 67

4.4 普通型热阴极电离真空计 70

4.5 超高真空热阴极电离真空计 75

4.6 低真空热阴极电离真空计 80

4.7 冷阴极电离真空计 81

4.8 相对真空计的校准 85

4.9 小结 86

思考与练习 87

第五章 分压强的测量质谱计 89

5.1 质谱计的性能指标 89

5.2 磁偏转质谱计 91

5.3 回转质谱计（欧米加质谱计） 93

5.4 飞行时间质谱计 94

5.5 四极质谱计 95

5.6 真空系统中残余气体的来源 99

5.7 质谱图的识别 100

5.8 分压强的计算 102

5.9 小结 104

思考与练习 104

第六章 真空系统 106

6.1 真空系统的分类 106

6.2 真空系统常用材料 107

6.3 真空系统常用组件 113

6.4 真空系统的组装 117

6.5 真空系统的图形符号（GB1364-85） 124

6.6 典型真空系统举例 128

6.7 真空卫生 131

6.8 小结 132

思考与练习 132

第七章 真空检漏 133

7.1 概述 133

7.2 漏孔的漏率 134

7.3 检漏方法分类 136

7.4 几种加压检漏法 137

7.5 几种真空检漏法 139

7.6 氦质谱检漏仪的工作原理 142

7.7 氦质谱检漏仪的性能指标 145

7.8 氦质谱检漏方法及注意事项 146

7.9 标准漏孔及其漏率的校准 151

7.10 漏孔的修补 153

7.11 小结 154

思考与练习 154

附录 156