点击下载
文件大小：86MB 标注页数：247页 文件页数：263页
MD5：b02fc59bb0172d31bf15a9947a7e2126
ISBN：9787564115753
出版社：南京：东南大学出版社
作者：东南大学MEMS教育部重点实验室著
出版时间：2009
文件大小：57MB 标注页数：220页 文件页数：233页
MD5：83f9f440a592c1c5b9164250de0b8bda
ISBN：9787121188053
出版社：北京：电子工业出版社
作者：（美）哈策尔，（美）席尔瓦
出版时间：2012
mems mems技术及应用 mems与微系统 硅mems fundamentals of mems 可靠性
