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目 录 1

第一部分概 述 1

第一章电镜工作者须知 1

安装电子显微镜的基本技术要求 1

电子显微镜的管理和维护 3

电子显微镜的X射线泄漏及其防护 5

第二章电镜检修概述 10

电镜故障类别及检修步骤 10

透视电镜主要故障的排除 14

国产DXA4-10透射式电镜故障排除 18

扫描电镜常见故障及检修 20

扫描回路故障及检修 22

第二部分透射电镜故障及对策 25

第一章真空系统 25

第一节机械泵 25

第二节扩散泵 30

第三节镜筒与管道 34

第四节密封阀与真空规 41

第二章 电子光路 53

第一节电子枪与聚光镜部分 53

第二节光路污染 58

第三节照相机构 62

第一节高压电缆 69

第三章高压与灯丝 69

第二节高压油箱 78

第三节灯丝电源 82

第四节高压电源 87

第五节高压控制 107

第四章透镜电源 111

第一节聚光镜电源 111

第二节物镜电源 117

第三节中间镜和投影镜 126

第五章电源 130

第一节主电源 130

第二节照相部分电源 140

第三节辅助电源 145

第六章其它 154

第一节冷却水系统 154

第二节其它 159

第三部分描扫电镜故障及对策 165

第一章真空系统 165

第二章电子光路 179

第三章高压系统和灯丝电路 188

第一节高压系统 188

第二节灯丝电路 204

第一节扫描信号发生电路 213

第四章扫描信号及观察系统 213

第二节图象放大电路 229

第三节图象显示电路 233

第四节图象控制电路 240

第五节二次电子检出部分 243

第六节10kv高压部分 248

第七节干扰 256

第五章X射线元素分析 260

第一节X射线波谱分析 260

第二节X射线能谱分析 266

第一节直流电源 270

第六章其它 270

第二节照相及字符显示 274

第三节其它 278

第四部分综合讨论 281

第一章真空系统 281

机械泵声音异常与故障 281

如何防止扩散泵油的挥发和碳化 283

扩散泵油的性能及使用时应注意事项 285

真空防漏 286

高真空补漏剂 287

第二章 电子光学系统 289

如何从束流变化判断故障成因 289

如何从成象质量来判断故障 290

如何排除光路中纤维样污染物 291

防尘 293

光拦的修理和清洗 294

如何延长灯丝工作寿命 296

灯丝的非正常断裂 298

电镜荧光屏幕的制作 299

老化荧光屏幕的翻新 302

电镜放大倍数误差的形成及校准 306

电镜分辨本领的测定 310

高压打火的部位、成因及对策 312

第三章电气系统 312

高压电缆芯线间击穿 314

高压电缆击穿检修概述 315

高压电缆击穿机理 317

高压电缆的维护 319

稳定电路的检测和维修要点 321

集成电路维修 323

附：部分常用集成电路国内外型号对照表 328

标准电池漏电成因、判定及对策 330

接触电阻的危害、成因及防范 331

高压油真空过滤装置 333

高压油使用维护的基本知识 335